본딩 서비스
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Xinkang Advanced Materials Co., Ltd는 PVD 코팅 재료의 전문 생산 업체이며 가장 적합하고 고품질의 본딩 서비스를 생산 및 공급하고 있습니다.
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인듐 본딩은 스퍼터링 타겟을 본딩하는 가장 좋은 방법입니다. 왜냐하면 인듐 본딩은 열전도율이 가장 우수하고 타겟에서 열을 빼내는 데 가장 효율적이기 때문입니다. 특수 대상 재료의 경우 고객이 엘라스토머 본딩 또는 e-빔 용접이 필요합니다. 
 
메탈릭 타깃 재료와 복합 타깃 재료 모두에 대한 풍부한 타깃 본딩 경험을 보유하고 있으며, 재료의 특성과 작업 조건에 따라 고객에게 최적의 본딩 솔루션을 제안합니다.
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깨지기 쉽고 부드러운 재료, 특히 세라믹 스퍼터링 타겟 및 연질 금속 스퍼터링 타겟의 경우 고객은 일반적으로 타겟을 백킹 플레이트에 접착해야 합니다. 접합은 타겟 재료에 대한 지지일 뿐만 아니라 스퍼터링 공정에서 열 추출(냉각)을 제공하고 마그네트론 냉각 시스템 및 진공 챔버로부터 밀봉하기 때문입니다.
 
인듐 본딩은 스퍼터링 타겟을 본딩하는 가장 좋은 방법입니다. 왜냐하면 인듐 본딩은 열전도율이 가장 우수하고 타겟에서 열을 빼내는 데 가장 효율적이기 때문입니다. 특수 대상 재료의 경우 고객이 엘라스토머 본딩 또는 전자빔 용접이 필요합니다.
 
메탈릭 타깃 재료와 복합 타깃 재료 모두에 대한 풍부한 타깃 본딩 경험을 보유하고 있으며, 재료 특성 및 작업 조건에 따라 고객에게 최상의 본딩 솔루션을 제안합니다.
 
인듐 본딩의 경우, 우리가 제어한 인듐의 두께는 0.2-0.3mm이며, 대상 타일 사이에 0.2-0.3mm의 본딩 간격을 남겨두고 대부분의 대상 본딩에서 95%의 본딩률을 보장할 수 있습니다. C-스캔 보고서는 요청 시 제공됩니다.

우리는 또한 고객 요청에 따라 백킹 플레이트를 사용자 정의합니다. 필요한 경우 pls에 문의하십시오.

다음 요소를 고려해야 하는 백킹 플레이트 재료 선택: 

백킹 플레이트 재료 및 스퍼터링 타겟의 열팽창. 

 
전기  전도도
냉각수 압력과 열 순환 효과를 견디는 기계적 성질.
재사용 가능
 
백킹 플레이트 재료는 일반적으로 다음 금속으로 만들어집니다. 
 
무산소 구리
 
가장 일반적으로 백킹 재료는 OFHC(Oxygen Free Copper)입니다. 쉽게 구할 수 있는 금속으로 열 전도성과 전기 전도성이 우수하고 기계 가공이 쉽습니다. 구리 백킹 플레이트는 주의를 기울여 20회 이상 재사용할 수 있습니다.
 
몰리브덴백킹플레이트
 
몰리브덴 백킹 플레이트는 고온 결합에 적합하며 구리는 심하게 산화되거나 휘어질 수 있으며 세라믹과 같이 구리 팽창 계수가 일치하지 않는 대상 재료와 일치할 수도 있습니다.
 
알루미늄백킹플레이트
 
마찬가지로 높은 열전도율과 대상 물질의 팽창 계수 일치 및 확산 결합에 적합합니다.
스테인레스 스틸. 저비용 재활용 가능 백킹 튜브를 제공하는 회전식 스퍼터링 타겟에 일반적으로 사용됩니다. 
또한, 구리 아연(CuZn) 합금 및 구리 크롬(CuCr) 합금 백킹 플레이트도 당사 공장에서 사용할 수 있습니다. 

 

 

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