하프늄 스퍼터링 타겟은 금속 하프늄(Hf)과 동일한 성능을 가집니다. 녹는점이 2233인 하프늄°C, 끓는점 4603°C, 밀도 13.31g/cm3. 반짝이는 은회색 전이 금속입니다. 금속 하프늄은 적당한 강도, 우수한 내식성 및 높은 중성자 흡수 능력을 가지고 있습니다. 그것은 원자력 산업에서 널리 사용됩니다. 하프늄은 다양한 합금을 형성할 수 있으며 기본 금속의 표면 코팅으로도 사용할 수 있습니다.수입된 고순도 하프늄과 저 지르코늄을 제공할 수 있으며 타겟 및 입자로 처리할 수 있습니다.
하프늄 스퍼터링 타겟 적용
산소 분압을 도입함으로써 전기 스퍼터링 또는 하프늄 스퍼터링 타겟을 사용한 반응성 스퍼터링에 의해 하프늄 산화물 필름을 제조할 수 있다.생성된 박막 은 광자용 광학 코팅, 박막 저항성, 내식성, 핵 제품, 집적 회로의 게이트 절연체 및 센서를 포함하여 다양한 응용 분야에서 사용될 수 있습니다 .