팔라듐 스퍼터링 타겟은 원료와 공통된 특성을 가지고 있습니다. 팔라듐은 로듐, 루테늄, 오스뮴, 이리듐 및 백금과 함께 백금족 금속이라고 하는 원소 그룹을 형성합니다. 팔라듐은 백금과 유사한 부드러운 은백색 금속입니다. 밀도가 가장 낮고 백금족 금속 중에서 녹는점이 가장 낮습니다. 어닐링하면 부드럽고 연성이 있으며 냉간 가공하면 강도와 경도가 크게 증가합니다. 그것은 면심 입방정 결정 구조를 가지고 있으며 상온에서 공기 중 부식과 산의 작용에 강하게 저항합니다. 그것은 뜨거운 산의 공격을 받고 왕수에 용해됩니다. 그것은 많은 화합물과 여러 복잡한 염을 형성합니다. 팔라듐은 수소를 흡수하는 능력이 뛰어납니다(자체 부피의 최대 900배).
내부식성 때문에 팔라듐은 주로 저전압 전기 접점에 사용되는 합금에 사용됩니다. 팔라듐이 미세하게 분해되면 좋은 촉매를 형성하고 수소화 및 탈수소화 반응을 가속화하는 데 사용됩니다.
팔라듐은 다음과 같은 특정 합금으로 보석 제작에 광범위하게 사용됩니다.“화이트 골드.”백금과 합금하거나 대체할 수 있습니다. 시계 베어링, 스프링, 밸런스 휠 및 과학 기기의 거울에도 사용됩니다.