루테늄 스퍼터링 타겟은 고순도 루테늄으로 구성된 회색 타겟입니다. 루테늄은 기호 Ru와 원자 번호 44를 갖는 화학 원소입니다. 주기율표의 백금족에 속하는 희소한 전이금속이다. 백금족의 다른 금속과 마찬가지로 루테늄은 대부분의 다른 화학 물질에 불활성입니다. 루테늄은 일반적으로 백금 광석의 미량 성분으로 발견됩니다. 대부분의 루테늄 제품은 내마모성 전기 접점 및 후막 저항기에 사용됩니다.
루테늄 스퍼터링 타겟은 수직자기기록 다층막 구조에서 중요한 중간막인 Ru 박막 증착에 사용된다. 자기 기록 매체에서 주로 상층과 하층 사이의 격자 불일치 응력을 줄이고 열 안정성을 높이고 노이즈를 줄이는 역할을합니다.
기능성 막으로서 루테늄 및 루테늄 합금 박막은 자기 기록 저장 및 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.