텅스텐 스퍼터링 타겟은 일반적으로 깨지기 쉽고 가공하기 어려운 고순도 텅스텐 금속으로 만들어집니다. 텅스텐을 매우 순수한 재료로 만들면 경도(많은 강철보다 높음)를 유지할 수 있고 충분한 연성을 가지고 있어 가공이 용이합니다. 단조, 연신 또는 압출에 의해 가공됩니다. 텅스텐 물체는 일반적으로 소결에 의해 형성됩니다.
순수한 형태의 모든 금속 중에서 텅스텐은 녹는점이 가장 높습니다(3422°씨, 6192°F), 최저 증기압(1650 이상의 온도에서)°씨, 3000°F), 가장 높은 인장 강도. 텅스텐은 순수 금속 중에서 열팽창 계수가 가장 낮습니다. 텅스텐의 낮은 열 팽창과 높은 융점 및 인장 강도는 5d 전자에 의해 텅스텐 원자 사이에 형성된 강한 공유 결합에서 비롯됩니다. 소량의 텅스텐을 강철과 합금하면 인성이 크게 증가합니다.
XK는 다양한 모양과 순도를 지닌 텅스텐 스퍼터링 타겟 생산에 풍부한 경험을 가지고 있으며 주로 반도체 및 마이크로 전자공학에 적용됩니다. TFT-LCD 화면에 사용되는 박막 트랜지스터의 구성 요소인 텅스텐 층은 모든 금속의 융점이 가장 높기 때문에 고온 환경에서 매우 안정적입니다. 당사의 특수 성형 공정 덕분에 당사의 텅스텐 스퍼터링 타겟은 더 높은 밀도, 더 작은 평균 입자 크기 및 더 높은 순도를 가지므로 더 빠른 스퍼터링 속도로 인해 더 빠른 공정의 이점을 얻고 매우 균일한 텅스텐 층을 얻을 수 있습니다.
미세 구조는 원하는 효과를 얻기 위해 유연한 생산 공정으로 조정할 수 있습니다. 스퍼터링 타겟의 입자가 균일하게 정렬되면 사용자는 일정한 침식률과 균질한 층의 이점을 얻을 수 있습니다. 다음은 당사의 텅스텐 스퍼터링 타겟, 평균 입자 크기(±100μm)의 두 현미경 사진입니다.
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