바나듐 스퍼터링 타겟은 소스 재료와 특성을 공유합니다. 바나듐은 기호 V와 원자 번호 23의 화학 원소입니다. 단단하고 은회색이며 연성이 있고 가단성인 전이 금속입니다. 원소 금속은 자연에서 거의 발견되지 않지만 일단 인위적으로 분리되면 산화층(패시베이션)이 추가 산화에 대해 자유 금속을 어느 정도 안정화시킵니다. 바나듐은 전기 전도성 및 열 절연성이며 대부분의 금속 및 강철보다 단단합니다. 부식에 대한 저항성이 우수하며 알칼리 및 황산 및 염산에 대해 안정적입니다. 실온에서도 산화물 보호막이 형성되지만 약 933K(660°C, 1220°F)에서 공기 중에서 산화됩니다.
바나듐 스퍼터링 타겟은 용융 기술로 생산됩니다. 바나듐 산화물은 매우 특수한 광학 및 전기적 특성을 가지고 있기 때문에 적외선 지능형 창, 전기 광학 스위치 장치 및 레이저 보호 재료 및 스텔스 재료로 적용될 수 있습니다. 최대 3N 순도 및 특수 어닐링 처리, 균일한 입자 크기 및 낮은 가스 함량으로 최종 사용자는 PVD 공정 중에 일정한 침식 속도와 고순도 및 균일한 박막 코팅을 얻을 수 있습니다.
아래 사진은 당사의 바나듐 스퍼터링 타겟, 평균 입자 크기<100μm의 두 현미경 사진입니다.
화학 사양:
우리의 고순도 스퍼터링 타겟은 필름이 뛰어난 수준의 전기 전도성을 갖도록 하고 PVD 공정 중에 입자 형성을 최소화할 수 있습니다. 아래 양식은 순도 99.9% 바나듐 스퍼터링 타겟의 일반적인 인증서입니다.
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