이터븀 스퍼터링 타겟은 고순도 이테르븀(Yb) 금속으로 만든 금속 타겟입니다. 녹는점이 824이다.°C, 끓는점 1193°C, 밀도 6.965g/cm3.
이터븀은 순수할 때 밝은 은빛 광택을 나타내는 부드럽고 가단성 및 연성 화학 원소입니다. 희토류 원소이며 강한 무기산에 쉽게 용해됩니다. 찬물과 천천히 반응하고 공기 중에서 천천히 산화됩니다.
최근 이터븀을 메탈 게이트 재료, High-k 재료 등 전자재료로 활용하기 위한 연구개발이 추진되고 있으며, 이터븀은 주목받고 있는 금속이다.